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产品描述

采用CZ/MCZ法拉制的大尺寸高纯度硅单晶系列产品是集成电路刻蚀工艺中使用的关键材料，被认定为首批国家自主创新产品。提供满足客户要求的不同尺寸、电阻率的硅环形态硅单晶产品。

产品用途

集成电路刻蚀用关键材料

技术参数